“發(fā)生的中興事件讓我們看到了我國(guó)缺‘芯’的問題，事實(shí)上我們不僅僅是缺‘芯’，更重要的是缺‘氣’。要知道，芯片的生產(chǎn)制造也離不開我們工業(yè)氣體?！碑?dāng)蘇州金宏氣體股份有限公司董事長(zhǎng)金向華結(jié)合時(shí)下熱議的“中興事件”談及我國(guó)工業(yè)氣體行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀時(shí)，一句“缺氣”的總結(jié)使得與會(huì)人士都備受觸動(dòng)。

　　金向華是在4月26日至27日在上海舉行的中國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)第28次會(huì)員代表大會(huì)暨2018年年會(huì)的綜合論壇上發(fā)表上述觀點(diǎn)的。中國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，我國(guó)工業(yè)氣體總產(chǎn)值增長(zhǎng)率均達(dá)12%以上，與國(guó)家GDP增長(zhǎng)率保持兩倍左右的正相關(guān)關(guān)系，氣體業(yè)務(wù)外包占比50%左右，預(yù)計(jì)2018年將達(dá)到1400億元。

　　“改革開放40年來，我國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步，但我們同時(shí)也要看到，在高端產(chǎn)品，尤其是特氣（特殊氣體）方面，國(guó)內(nèi)的企業(yè)實(shí)力還比較弱，很多產(chǎn)品幾乎都被外資企業(yè)所壟斷。”中國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)秘書長(zhǎng)洑春干告訴記者，目前電子芯片生產(chǎn)用的特氣，我國(guó)僅能生產(chǎn)約20%，其余全部依賴進(jìn)口。

　　電子氣體國(guó)產(chǎn)化迫在眉睫，是與會(huì)代表達(dá)成的共識(shí)。“中國(guó)必須掌握電子氣體核心技術(shù)。”洑春干呼吁國(guó)內(nèi)企業(yè)加大自主創(chuàng)新，用實(shí)際行動(dòng)為“中國(guó)芯”打氣。

　　行業(yè)面臨轉(zhuǎn)型升級(jí)

　　“40年前，我國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的板翅式換熱器專有技術(shù)出口到發(fā)達(dá)國(guó)家，該技術(shù)***，結(jié)束了板式全進(jìn)口的歷史。”說起改革開放之初，我國(guó)的空分（空氣分離）設(shè)備***次出口的歷史，杭州氧氣股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱杭氧）設(shè)計(jì)院主任張震仍然難掩自豪之情。

　　中國(guó)工業(yè)氣體協(xié)會(huì)的前身就是成立于1987年的全國(guó)空分氣體行業(yè)聯(lián)誼會(huì)，空分行業(yè)也一直被看做是工業(yè)氣體行業(yè)發(fā)展的“晴雨表”。歷經(jīng)40年的發(fā)展，我國(guó)的空分設(shè)備已經(jīng)取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步，作為我國(guó)空分設(shè)備的領(lǐng)軍者，杭氧已經(jīng)在今年與神華寧煤研發(fā)的神華寧煤10萬等級(jí)空分設(shè)備實(shí)現(xiàn)了10萬等級(jí)空分設(shè)備設(shè)計(jì)制造、調(diào)試和運(yùn)行技術(shù)的突破，使得“國(guó)產(chǎn)10萬等級(jí)空分設(shè)備實(shí)現(xiàn)了從‘百米跑’到‘馬拉松’的跨越?！?/p>

　　“隨著10萬以上等級(jí)空分技術(shù)上的***突破，空分等級(jí)不再是制約我國(guó)空分技術(shù)發(fā)展應(yīng)用的因素，且大大提升了用戶對(duì)國(guó)產(chǎn)裝備的信心，為實(shí)現(xiàn)特大型空分系統(tǒng)全國(guó)產(chǎn)化推廣應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)?？辗旨夹g(shù)發(fā)展將繼續(xù)帶動(dòng)空分下游相關(guān)配套廠商的配套能力和水平的不斷升級(jí)。將形成相互促進(jìn)發(fā)展的良性循環(huán)。”張震說，未來5年，中國(guó)空分市場(chǎng)繼續(xù)向大型化邁進(jìn)，對(duì)7萬等級(jí)以上空分的需求達(dá)到60多套，超過480萬Nm3/h（氧），具有近200億元的市場(chǎng)，空分技術(shù)的發(fā)展具有不竭的驅(qū)動(dòng)力。

　　空分技術(shù)的發(fā)展是我國(guó)整個(gè)工業(yè)氣體行業(yè)的一個(gè)縮影。目前，全行業(yè)形成了一個(gè)類似金字塔式的供氣模式和競(jìng)爭(zhēng)格局，塔尖是管道氣現(xiàn)場(chǎng)制氣，幾乎為外資所壟斷；中間層是液態(tài)氣體，外資與國(guó)企、民企充分競(jìng)爭(zhēng)；塔底是鋼瓶氣，其中大宗氣體3000多家民企充分競(jìng)爭(zhēng)，小而散，特氣外資主導(dǎo)、部分國(guó)內(nèi)企業(yè)實(shí)現(xiàn)突破。

　　“隨著環(huán)保要求升級(jí)和行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)加劇，工業(yè)氣體行業(yè)面臨轉(zhuǎn)型和洗牌，要摒棄惡性競(jìng)爭(zhēng)，用創(chuàng)新逐步填補(bǔ)國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)品的空白?！苯鹣蛉A說。

　　缺“氣”局面亟待突破

　　盡管在鋼瓶氣等傳統(tǒng)及中低端產(chǎn)品方面，我國(guó)已經(jīng)形成了規(guī)模優(yōu)勢(shì)，但在高端氣體尤其是特氣方面，我國(guó)的差距還是比較明顯。“特氣是新興門類，在特定領(lǐng)域應(yīng)用。目前外資在產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)業(yè)規(guī)模上均具有較大優(yōu)勢(shì)，國(guó)內(nèi)還有很多特氣不能生產(chǎn)，很多產(chǎn)品還處于進(jìn)口替代過程中。”廣東華特氣體股份有限公司總經(jīng)理傅鑄紅透露，目前全國(guó)的工業(yè)氣體中特氣占比15%，特氣中一半是電子特氣。

　　據(jù)洑春干介紹，電子氣體作為極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，被廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝，沒有這些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太陽(yáng)能產(chǎn)品就無法制造。據(jù)業(yè)內(nèi)不完全統(tǒng)計(jì)，2016年我國(guó)晶圓制造電子材料市場(chǎng)總額達(dá)343.03億元，較2015年增長(zhǎng)6.9%，預(yù)計(jì)2017年將達(dá)359.36億元。未來中國(guó)基于廣大的市場(chǎng)消費(fèi)群體，預(yù)計(jì)仍將保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。

　　經(jīng)過近10年發(fā)展，國(guó)內(nèi)電子氣體行業(yè)涌現(xiàn)了一批生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定，能夠被半導(dǎo)體客戶接受的電子氣體生產(chǎn)企業(yè)。從2012年至2016年，國(guó)內(nèi)電子氣體企業(yè)生產(chǎn)銷售額占中國(guó)晶圓制造電子氣市場(chǎng)需求由3.8%增加至25.0%，預(yù)計(jì)2017年將增加至28.4%。國(guó)內(nèi)電子氣體市場(chǎng)接近全球的1/3，而且比例還在不斷提高，但國(guó)內(nèi)自給率卻非常低，近八成產(chǎn)品依賴進(jìn)口。

　　“有些電子氣體國(guó)內(nèi)并不是完全不能生產(chǎn)，但在技術(shù)精益性上與國(guó)際先進(jìn)水平有差別。譬如氯化氫，國(guó)內(nèi)企業(yè)也可以做到水分含量只有0.1ppm，但難以確保質(zhì)量恒定在高水平?！备佃T紅說。

　　據(jù)了解，國(guó)家對(duì)電子氣體的發(fā)展一直比較重視，僅去年就出臺(tái)了多項(xiàng)鼓勵(lì)政策。譬如科技部印發(fā)的《“十三五”先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域科技創(chuàng)新專項(xiàng)規(guī)劃》提到要重點(diǎn)研發(fā)超高純電子氣體；發(fā)改委印發(fā)的《增強(qiáng)制造業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力3年行動(dòng)計(jì)劃（2018～2020年）》提到了高純氯氣、氯化氫、等系列電子特氣。“我們應(yīng)抓住時(shí)機(jī)，通過自主創(chuàng)新，增加產(chǎn)品種類，提高國(guó)產(chǎn)化率，爭(zhēng)取早日解決缺‘氣’的瓶頸和制約?！睕毚焊烧f道。（記者 徐建華）

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